特集「電子材料技術」 半導体封止材の技術動向

2019-6-23 · ズに応じた要素技術および材料 技術の開発が必要である。本稿では,近年ニーズの高い封止材技術,注目されている ... 層間絶縁膜 誘電率 3.6-4.1 3.1-3.4 3.1-3.4 3.1-3.4 2.5 ...

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